第2版序1
第2版序2
第2版前言
第1版前言
第一章精密和超精密加工技术及其
发展展望
第一节发展精密和超精密加工技术的
重要性
第二节超精密加工技术的现状
第三节超精密加工技术发展展望
复习思考题
第二章超精密切削与金刚石刀具
第一节超精密切削的切削速度选择
第二节超精密切削时刀具的磨损和寿命
第三节超精密切削时积屑瘤的生成规律
第四节切削参数变化对加工表面质量
的影响
第五节切削刃锋锐度对切削变形、加工
表面质量的影响
第六节金刚石刀具超精密切削中的若
干理论问题
第七节超精密切削对刀具的要求及金
刚石的性能和晶体结构
第八节金刚石晶体各晶面的耐磨性和
好磨难磨方向
第九节单晶金剐石刀具的磨损破损机
理
第十节金刚石晶体的定向
第十一节金刚石刀具的设计与制造
复习思考题
第三章精密磨削和超精密磨削
第一节概述
第二节精密磨削
第三节超硬磨料砂轮磨削
第四节超精密磨削
第五节精密和超精密砂带磨削
复习思考题
第四章精密和超精密加工的机床设
备
第一节精密和超精密机床发展概况
第二节典型超精密机床的简介
第三节精密主轴部件
第四节机床的总体布局和床身导轨
第五节进给驱动系统
第六节微量进给装置
第七节机床运动部件位移的激光
在线检测系统
第八节机床的稳定性和减振隔振
第九节减少热变形和恒温控制
复习思考题
第五章精密加工中的测量技术
第一节精密测量技术概述
第二节测量基准
第三节直线度、平面度和垂直度的
测量
第四节角度和圆分度的测量
第五节圆度和回转精度的测量
第六节激光测量
第七节自由曲面的测量
复习思考题
第六章在线检测与误差补偿技术
第一节概述
第二节在线检测与误差补偿方法
第三节微位移技术
复习思考题
第七章精密研磨与抛光
第一节研磨
第二节抛光
第三节精密研磨与抛光的主要工艺
因素
第四节精密研磨抛光新技术
第五节曲面研磨抛光技术
复习思考题
第八章微细加工技术
第一节微细加工技术的出现
第二节微细加工的概念及其特点
第三节微细加工机理
第四节微细加工方法
第五节集成电路与印制线路板制作
技术
复习思考题
第九章精密和超精密加工的外部
支撑环境
第一节空气环境和热环境
第二节振动环境
第三节噪声环境
第四节其他环境
第五节精密和超精密加工的环境设施
复习思考题
第十章纳米技术
第一节纳米技术概述
第二节纳米级测量和扫描探针测量
技术
第三节纳米级加工技术和原子操纵
第四节微型机械、微型机电系统及
其制造技术
复习思考题
参考文献
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